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AFXS直線電機(jī)平臺(tái)

直線電機(jī)平臺(tái)用于晶圓、藍(lán)寶石等檢測，由Akribis高性能無鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)；XY軸采用交叉滾柱導(dǎo)軌，中空結(jié)構(gòu)，內(nèi)置光柵系統(tǒng)。分辨率50nm，重復(fù)定位精度可達(dá)士0.75um，絕對(duì)定位精度2um；有效行程70*70mm，最大速度200mm/s；可定制。

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產(chǎn)品詳情

Akribis雅科貝思直線電機(jī)平臺(tái)

AFXS直線電機(jī)平臺(tái)：參數(shù)

	X軸	Y軸
行程	70mm	70mm
分辨率	50nm	50nm
定位精度	±2μm	±2μm
重復(fù)度	±0.75 μm	±0.75 μm
平面度	±3.5 μm
直線度	±3.5 μm
最大速度	200 mm/s
建議負(fù)載重量	< 1 Kg
中空尺寸	90 * 110 mm
XY軸正交度	10 arc sec